江西油真空泵系统

半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀， 真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序，半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有害的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，因此，半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项：1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，避免超压。半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。2、有效稀释有害气体的浓度。半导体易产生前面所说的易燃易爆、有害的有害气体，因此半导体真空泵在抽取这些介质时，需要用氮气之类的惰性气体，在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。3、注意氧气的浓度。空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及易爆风险。所以一些情况下需注意氧的浓度，采用惰性气体来稀释，防止浓度过高。4、防止温度过高。半导体在真空泵的应用中，有害气体比较多，而无论是干式真空泵还是油封机械泵，泵腔内温度过高，高温下易燃易爆及有害气体就会容易发生危险。木工行业中固定和搬运木工器件、精细雕花、废料真空吸尘、空气抽出等工艺，都需要用到真空泵。江西油真空泵系统

在果汁、葡萄酒、啤酒和软饮料的生产中，即使是少量气体，也会迅速发展成不良因素。例如，溶解的氧气会促进细菌生长，破坏维生素 C 和其他抗氧化物质。这会影响饮料的气味、味道和保质期，还会导致变色，令人失去胃口。溶解的二氧化碳使纤维部分和水果碎片漂浮，然后沉积在表面。游离气泡还会促使泡沫的形成，尤其是之前加热过的饮料中。在此情况下，往往需要大幅降低浇注速度。  真空可以巧妙地去除已加工液体中不需要的气体。例如，在喷雾脱气工艺中，水通过喷嘴喷射到压力小于 300 毫巴的真空容器中。在脱气装置的负压作用下，气泡膨胀破裂。薄膜脱气主要用于生产果汁、葡萄酒和啤酒。在柱状容器中，饮料液体在中空纤维膜周围流动，而中空纤维膜只允许气体通过。溶解的气体穿透薄膜，真空泵借助吸力将其抽出。为使残余气体含量尽可能比较低，还可以在气体侧使用汽提气。氮气通常用于此目的。任何情况下，气体侧都会施加真空。压降从液体中“吸出”溶解的气体。湖北永磁变频油螺杆真空泵报价现实中，由于选型不合理，许多真空泵处于不正常状态运行，造成能源浪费，维修成本增加，甚至根本无法工作。

昊青气体装备的EVS油封螺杆式真空泵，将强大的油封螺杆技术与昊青气体装备先进的螺杆设计相结合。首先它能创造安静的现场真空。油封式螺杆系统采用低噪音的真空技术，其两个螺杆组件低速旋转，这样EVS便可以在低声级上运行。这种静音式运行，允许您将EVS安装在使用点的附近。同时，该机型性能可靠。可靠性是EVS真空系统的一个关键特征。所采用的技术没有接触，所以也无磨损。作为一项附加优点，油封技术带来强大的无故障运行。除了这项先进的技术之外，EVS还配备了可靠的特大号电机，和专业的油气分离系统。前列的凝聚过滤器减少了环境中的油雾量，从而减少额外的加油量，降低运行温度和发动机的功耗。EVS油封螺杆式真空泵拥有更好的效率，由于每千瓦输入均能有更好的性能输出，EVS在其工作压力范围上的表现超过所有其他的真空技术。并且能按照需求配置能力：模块化阀门直接安装到泵的进口上。同时还能即插即用型安装。结构上，它设计紧凑，节省空间。由于需要更少的维护，正常运行时间更长。

前面我们讲的都是粗真空。但对于制造极其微小的结构，则需要高真空，例如，利用高真空使金属沉积到硅晶片上。一方面，所用金属沸点相对较低。另一方面，即使是再小的夹杂物，甚至是空气气体分子，也会损害薄片层的导电性。离子注入也是如此，在此工艺中，离子在电场中加速运动，被引导到晶片上并置于晶格中。没有真空，EUV 光刻也就无从实现。作为相对较新的工艺，EUV 光刻使用波长非常短的极紫外光来显示晶片上特别小的结构。EUV 光传播几毫米后就会被空气完全吸收。只有在真空度非常高时，它才能畅通无阻地传播。此技术和类似方法是很多芯片技术发展的先决条件，例如，让我们的智能手机变得越来越薄，同时提供不断增强的性能，如果没有高真空度的辅助，都是不可能实现的。真空系统主要由真空罐、进气过滤、真空泵、油气分离、进气管系（真空管系）和排气管系组成。

针对复杂应用场合的可靠真空压缩机已经将可靠的螺杆压缩技术应用于真空领域，铸就了昊青气体装备EVS系列油封螺杆式真空泵。10种型号的产品可以提供多至5136m3/h的真空抽速，使EVS系列真空泵成为了针对电子/半导体、平板显示、精密金属/玻璃加工、印刷/包装、食品加工/包装、木工/家具、制瓶/制罐、复合材料、陶瓷/制砖、航空航天、高空模拟等类似行业复杂应用的真空解决方案。昊青气体装备技术(江苏)有限公司秉承“专注自豪、匠心打造”的精神风貌，其存在的理由是“为客户创造价值”，奋斗的目标是“成为客户信赖的品牌”。真空泵使用前应了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气、有无颗粒灰尘、有无腐蚀性等。湖北永磁变频油螺杆真空泵报价

为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。江西油真空泵系统

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